1976 年，工研院成立電子所，開始投入半導體研發。當時三星曾派人來台勸退，但在史欽泰等人的堅持下，台灣選擇繼續走自主技術之路。這段過程揭示了台灣半導體產業如何在艱難環境中，逐步奠定發展基礎。
韓國三星前來勸退
在1988年，全世界半導體公司就那麼幾家，要做記憶體又是花大錢的事，電子所才開始評估，消息很快就傳了出去。史欽泰說：
韓國三星集團的老總李健熙就跑來台灣找張忠謀和我，想勸退台灣。因為張忠謀人在國外，就只找到我。還記得我到台北福華飯店和他見面，當年三星還不是規模這麼大的公司，他們從一九八四年開始投入做記憶體，本來一直虧錢，但是，那一、兩年全球性的缺貨，使得三星多年來的虧損全部賺回來，甚至連未來投資的錢都賺到了。
李健熙告訴我，現在三星做這麼好，又在做DRAM，不如和他們一起做，他提出一億美元技術權利金的合作方案。他說，台灣做不過他們，因為工研院研發經費來源主要是政府，其實干涉很多，彈性也不夠，而台灣企業的口袋又不夠深（當時台積電才成立沒多久，施振榮也常常需要向銀行借貸）。李健熙強調，三星技術好，又是他說的算，口袋又深；還說，如果我們不相信，他邀請我們去韓國參觀他的公司，他會完全開放讓我們知道。
李健熙離台之前，張忠謀還沒回國；他又第二次找我，正式邀請我、張忠謀和施振榮到韓國參觀，只有我們三個人，他也的確毫無保留讓我們看他們在做什麼。
宏碁董事長施振榮同行參觀韓國後，不久就宣布與美商德州儀器合作，由德州儀器提供技術，成立德碁半導體，生產DRAM。
史欽泰心裡也已經有定見，除小心研究可行性之外，他也親自赴海外尋找次微米的計畫主持人。他說：
主要的原因在我們有不同的看法和切入點（approach），如果想法一樣，就不需要重複去做。我們的目的，一直就是在帶動台灣產業發展，而不只是一個投資案而已；如何有一定的技術自主能力，在未來發展上不致完全受制於人，都是衡量、決策的因素。
至於施振榮先生，他去韓國之前就已經開始和德州儀器談合作，顯然這次的訪問沒有動搖他原本的決定。
聯手產業界一起攻堅
要做記憶體，就要發展次微米技術，當時台灣的半導體公司已有許多家：台積電、聯電、華邦，及施振榮投資的德碁；剛開始大家希望用參與的方式，也有聲音反對工研院再衍生新公司。史欽泰說：
我們就建議仿美國的SEMATECH（Semiconductor Manufacturing Technology，半導體製造技術聯盟），做聯合研究中心。SEMATECH是在美國雷根政府時期，因為看到日本的競爭力很厲害，一九八四年由國家支持的民間聯合研究機構，五○％經費由政府支持，IBM、英特爾、AT&T幾個大企業都參與。SEMATECH第一任董事長即是英特爾的創辦人之一，也有一任是比爾．斯賓塞（Bill Spencer），他後來做了我國行政院的科技顧問。所以我們想仿傚這個模式，由企業合資、政府各出一半。
次微米計畫以向政府提案為主，由電子所親自參與，有技術的優先權，但是，設有會員（member）制，正會員主要是聯電、台積電，以及副會員（associate member），如旺宏電子，透過每年成果發表，分享技術成果。此外，也成立諮詢委員會，由張忠謀當主席，史欽泰做執行長，由會員廠商來擔任委員。
